為實現各種方式的電火花加工，機床帶有各種用具，稱為機床附件。電火花加工機床配備的各種附件很多，應根據需要配置附件。主要的機床附件有可調節工具電極角度的卡頭、平動頭、油杯、永磁吸盤、數顯光柵尺等。