將金屬或非金屬沉積在模具模膛的表面上，通過擴散作用滲入到模膛表層，改變表面層（滲層）的化學組成和相結構，從而提高模具模膛表面的硬度和耐磨性，這一過程稱為表面擴散滲入或化學熱處理。表面擴散滲入的特點是：

（1）表面滲層與模體金屬的化學成分呈連續變化，結合良好；

（2）擴滲工藝過程不影響模體材料的結構和力學性能；

（3）表面滲層與模體金屬的結合實際上是一種復合材料，既發揮了模體材料的高韌性，又獲得了表面滲層的高硬度和耐磨性，得到更好的綜合性能。

用于模具模膛的表面擴滲處理主要有滲碳、滲氮和滲硼等非金屬材料；滲釩、鉻和鈦等金屬元素；復合滲硼和硫技術等；此外，還有液體碳氮共滲（軟氮化）等共滲工藝。

液體碳氮共滲（軟氮化）工藝具有處理溫度低、共滲時間短和適用鋼種廣泛等優點，可顯著提高模具表面的疲勞強度和耐磨性，從而提高模具壽命。