所謂擴散是物質中原子（或分子）的遷移現象，是物質傳輸的一種方式。在晶體中的擴散可以這樣描述：在熱振動和體系能量作用下，晶體的原子從一個平衡位置達到另一個平衡位置的無規遷移現象叫做擴散。

固態擴散根據擴散過程中是否發生濃度變化可分為自擴散（沒有其它元素擴散，不發生濃度變化的擴散）和互擴散（伴有濃度變化的擴散）兩類。

根據擴散方向是否沿著濃度降低的方向可分為下坡擴散（沿著濃度降低的方向進行的擴散，至使濃度趨于均勻化）和上坡擴散（沿著濃度升高的方向進行的擴散，使某種元素聚集）兩類。

根據擴散過程中是否出現新相進行分類，可分為簡單擴散和反應擴散兩類。簡單擴散是指擴散批過程中基體晶格不變，發生或者不發展濃度變化，同時沒有瓣相信生的擴散。反應擴散則為通過擴散使固溶體的溶質組元素度超過固溶度極限而形成新相的過程。

固體中的擴散不同于液體和氣體，固體中的原子基上有固定的平衡位置，所以原子擴散必須發生原子之間相互交換位置的，使周圍原子受到干擾的運動。