火花放電時，電極表面的金屬材料究竟是怎樣被蝕除下來的，這一微觀物理過程也就是電火花加工的物理本質，或稱機理。了解這一微觀過程，有助于掌握電火花加工工藝的基本規律，對脈電源、進給裝置、機床設備等提出合理的要求。從大量實驗資料來看，每次電火花腐蝕的微觀過程是電場力、磁力、熱力液體動力、電化學和膠體化學等綜合作用的過程。這一過程大致可以分為四個連續階段：極間介質的電離、擊穿，形成放電通道；介質熱分解、電極材料熔化、氣化熱膨脹；電極材料的拋出；極間介質的消電離。