物理氣相沉積是在真空條件下，利用物理方法，將沉積物材料汽化為原子、分子或離子化為離子，直接沉積到基體表面的方法。物理氣相沉積有蒸鍍、濺射和離子鍍。由于加熱方法不同和控制粒子運動的方法不同，PVC的種類也就很多，而且還在不斷地發(fā)展，且每種PVD法都有專用的設備，工藝方法也在不斷地研究發(fā)展之中。目前的PVD法與CVD法相比形成涂層的成分相差不大，PVD法工件的溫度較CVD法低但涂層要薄，可減少工件的變形但涂層的牢固度低。

PVD方法突出的優(yōu)點是鍍膜溫度低，只有500℃左右，而且溫度還可以降低。雖然鍍膜厚度較薄，但是能有效地提高模具壽命。鍍膜設備復雜，價格高，是其在模具制造上普遍應用的主要原因。PVD鍍膜技術在工模具行業(yè)中應用較多，國內(nèi)一些廠家用PVD法強化模具工作零件表面，使模具壽命提高，獲得了成功的經(jīng)驗。如：對YG20硬質(zhì)合金錄音機磁頭外殼拉深模模具工作零件進行PVD涂覆TiN處理，模具壽命提高3倍以上；經(jīng)低溫沉積TiN涂層的電能表拉深模，其使用壽命由原來的2000件提高到2萬件以上。此外，用65Mn鋼制造的精密平面磨床的主軸，經(jīng)低溫沉積TiN涂層處理后，徑向圓跳動達0.002mm較高精度，耐磨性可提高6～8倍。