輝光放電過程是在低于壓強下的氣體內進行。在真空爐中，當發生泄漏時，空氣就以爐殼作為陽極，爐內的加熱電極作為陰極，如果氣壓達到某個數值時，氣體產生電離，發生弧光放電現象。

   放電的結果會引起熱電偶測溫信號波動、測溫不準、燒壞工件、泄漏點燒壞等。