化學熱處理中，分解、吸收、擴散是彼此配合、并相互交叉進行的三個過程。其中，滲劑的分解是前提，通過滲劑的分解為工件表面提供充足的活性原子，如果活性原子太少，吸收后的表面濃度低，滲層的濃度梯度小，則擴散速度較慢，熱處理效果差點如果活性原子太多，多余的活性原子會在工件表面結合成分子，阻礙工件表面繼續吸收活性原子。所以，吸收和擴散的速度應該協調，如果吸收太慢，供不就求，會使擴散速度下降；如果吸收太快，來不及擴散，對滲層的組織結婚和深度也有不利的影響。

在實際生產中，由于多種因素的影響，上述的三個過程難以宛全平衡，所以化學熱處理總的速度取決于三者中最慢的一個，這個最慢的過程也就是整個化學熱處理過程的控制因子。

例如氣體滲碳時，滲劑滴入過多，“過剩”的活性碳原子在工件表面結合為碳分子，形成阻礙滲碳的“炭黑”；如果滲劑滴量太少，活性碳原子供不應求，滲層濃度梯度小，擴散緩慢，而且滲層表面碳濃度也不足，淬火后硬度達不到要求的值。在這種情況下，控制滲劑滴入量，保證滲劑能維持適宜的分解速度，就是加速整個滲碳過程的控制因子。又如在固體滲碳時，木炭粒中不加催滲劑，滲碳的速度極其緩慢，這是因為無催化劑時，滲劑中分解出活性碳原子缺少足夠的活化能，因而使分解過程成為整個固體滲碳的控制因子。在這種情況下，只要加入適量的BaCO₃、Na2CO₃、HaCl₂或NaCl等作催化劑，這些鹽中的金屬離子侵入木炭的石墨晶格中，使石墨的晶格嚴重歪曲，破壞了碳原子間的鍵力，分解過程的活化能就會大大減小，分解速度增加，進而也提高了整個固體滲碳的速度。

由此可見，正確地分析、確定化學熱處理過程的控制因子，乃是加速整個化學熱處理過程、提高生產效率、保證處理質量的重要環節。

化學熱處理的整個過程是一個復雜多變、相互聯系、相互制約的整體。不同的化學熱處理方法，有各自不同的控制因子；即使是同一化學熱處理方法，由于條件的不同，也可能具有不同的控制因子。此外，在化學熱處理的不同階段，其控制因子也會發生變化。因此，對于不同的化學熱處理方法、不同的處理階段，都要根據所處的具體條件作具體分析，才能準確地找出其控制因子，并刲行調整，使整個過程充分協調一致，進而使化學熱處理過程加速。