化學熱處理通常可分為分解、吸收和擴散三個基本過程：

分解過程是滲劑通過一定溫度下的化學反應或蒸發作用，形成含有滲入元素的活性原子介原，然后通過活性原子在滲劑中的擴散運動而到達工件的表面；

吸收過程是滲入元素的活性原子吸附于工件表面并發生相界面反應，即活性介質與金屬表面發生吸附-解吸過程，結合到固體金屬的表面結構中；

擴散過程是指附的活性原子從工件的表面向內部擴散以及擴散到內中的滲入原子與金屬反應而形成固溶體或化合物。

綜上所述，分解、吸收、擴散三個基本過程幾乎是所有化學熱處理的基本過程。