電火花加工時，工具的尖角或凹角很難精確地復制在工作上，這是因為當工具為凹角時，工件上對應的尖角處放電蝕除的概率（機會）大，容易遭受腐蝕而成為圓角，當工具為尖角時，一則由于放電間隙的等距離性，工件上只能加工出以尖角頂點為圓心、放電間隙S為半徑的圓弧；二則工具上的尖角本身因尖端放電蝕除的概率在而損耗成圓角，有用高頻窄脈寬精加工，放電間隙小，圓角半徑中以明顯減少，因而提高了仿形精度，可以獲得圓角半徑小于0.01mm的尖棱，這樣以于加工精密小模數齒輪等沖模電火花加工是很重要的。

目前，電火花加工的精度可達0.01～0.05mm，在精密光整加工時可小于0.005mm。