電火花加工表面質(zhì)量是指工件在電加工之后的幾何形狀誤差，包括宏觀幾何形狀誤差（如不圓度、不柱度等），微觀幾何形狀誤差（指被加工表面上所具有的較小間距的微小峰谷的高低不平）和介于兩者之間的中間幾何形狀誤差。實(shí)際上電火花加工的表面質(zhì)量主要包括表面粗糙度、表面變質(zhì)層和表面機(jī)械性能三部分。