電火花加工表面由于受到瞬時高溫作用并迅速冷卻而產生拉應力，往往在表面出現顯微裂紋。實驗表明，一般裂紋僅在熔化層內出現，只有在脈沖能量很大的情況下（粗加工時），才有可能擴展到熱影響層。

脈沖能量以顯微裂紋的影響是非常明顯的，能量越大，顯微裂紋越寬、越深。脈沖能量很小時（例如加工表面粗糙度R_a1.25μm時）一般不出現裂紋。不同工作材料對裂紋的敏感性也不同，硬質合金等硬脆材料容易產生表面顯微裂紋。在含鉻鎢、鉬、鋇等合金元素的冷軋模具鋼、熱軋模具鋼、高速鋼、耐熱鋼中較易產生，在低碳鋼和低合金鋼中不產生。工件預先的熱處理狀態對裂紋產生的影響也很明顯，加工淬火材料要比加工淬火后回火或退火的材料容易產生裂紋，因為淬火材料脆硬，原始內應力也較大。

對晶體管電源，脈沖體t_i在10μs以下是安全區，即使峰值電流較大（<100A），也不會產生顯微裂紋。

放電能量如果很大，甚至在單次放電痕上也有產生顯微裂紋的可能性。

實際生產上，模具鋼的安全區域遠比硬質合金大，即使在有裂紋的加工中，用精加工亦可去掉粗加工后的表面顯微裂紋。